油擴散泵(簡稱油擴散泵)是一種以低壓高速油蒸氣為工作介質的動量傳輸式射流真空泵。泵工作在高真空區域。油擴散泵的結構簡單，操作方便，單位抽速所需成本較低；油擴散泵沒有機械運動部件，使用壽命長，可靠性高和維修方便。油擴散泵特別適用于要求對大工作容器進行快速抽空以及迅速排除被處理材料在處理過程中突然放出大量氣體的工藝過程。例如，真空冶金和真空熱處理設備。
工作時，先用前級泵將油擴散泵及系統抽成預備真空，泵下部的鍋爐內裝有泵油，用電熱器將泵油加熱使之沸騰蒸發而產生油蒸氣。由于泵內預抽真空，壓力較低，故泵油可以在較低溫度(與工作介質種類有關，一般為370～420K)下蒸發。擴散泵油在真空下迅速揮發成蒸氣，油蒸氣沿導流管上升，由各級傘形噴嘴噴出。傘形噴嘴可以設一級、二級、三級、四級不等。高速噴出的油蒸氣打在水冷壁上又凝結成液體流回泵底，在重新加熱氣化，如此不斷循環。被抽系統中的氣體分子經進氣口擴散進入蒸氣射流內部，在大量的高速定向運動的油分子的碰撞下被攜帶到下一級射流，經逐級擴散攜帶壓縮，經出口噴嘴和排氣口被前級泵抽走。在這個擴散抽氣過程中存在兩個有害的反向擴散：(1)被抽氣體分子被壓縮到泵的出El處，出口處與人口端就存在被抽氣體的密度差，出口處的被抽氣體分子就會向入口側反擴散；(2)定向運動的油分子與被抽氣體分子相碰撞，有一部分也會改變運動方向進入被抽系統。再加上噴嘴處油蒸氣分子密度大于被抽系統的油蒸氣密度，油分子也會反向擴散到被抽系統中。上述兩個有害的反擴散是影響油擴散泵極限真空度提高的原因之一，同時也對真空系統產生油蒸氣污染。改善噴嘴設計和提高擴散泵油的質量，在泵的進氣端設置液氮冷阱等，可以在一定程度提高泵的極限真空度，減輕系統的油污染。普通油擴散泵的極限真空度可達10-5Pa，超高真空油擴散泵可達5 X 10-8Pa。
油擴散泵必須在用前級泵將系統壓力預先抽到低于擴散泵的起始工作壓力后才能正常工作，而且油擴散泵必須在正常抽氣工作前提前對泵油進行加熱。油擴散泵在裝配前必須清洗，裝入足夠的工作液體。泵s體冷卻水套必須通足夠壓力的冷卻水。未通冷卻水時，不要加熱擴散泵油。停機時，先停止加熱，待油冷卻后現停止冷卻水。
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