擴散泵油返流的來源及解決辦法

　　油擴散泵工作時，不管使用什么樣的泵油，總有部分油蒸氣返流入高真空端、這不但影響泵的極限壓力，還會對被抽容器造成污染。采用返油率評價泵的返流特性。返油率是指在泵人口處，單位時間，單位面積上返回泵油的質量。不同泵油返油率不同，同一種泵油，油溫增高時返油率加大。泵的第一級噴嘴結構、尺寸、形狀對返油率也有影響。

　　擴散泵返流油蒸氣的來源主要有以下幾個方面：

　　a．凝結于頂噴嘴表面上的油膜的再蒸發。

　　b．泵壁上凝結油膜的再蒸發和爬移。

　　C．噴嘴噴出的高速蒸氣射流碰到泵壁后的散射。

　　d．油蒸氣由噴嘴噴出后，由于油蒸氣分子的熱運動、碰撞、反彈，包括泵油爆沸產生的飛濺和壓力起伏引起的油分子直接向高真空側返流。

　　擴散泵油返流的解決辦法

　　在頂噴嘴上加一個優選形狀的擋油帽，可使返油率大大降低。這種擋油帽的擋油效果較好且對泵抽速沒有太大的影響，所以在現代擴散泵的設計中經常采用這種結構。在頂噴嘴上方，緊貼泵壁加一擋油環，經實驗得知，返油率最多可減少20％。

　　在對降低泵的返油率有更高要求時，可以在抽氣系統上采用各種結構的冷阱和障板。也可以設計成低返油率擴散泵。另外，調好泵的最佳加熱功率值的方法亦可使返油率減小。在泵加熱開始和終止時，返油率將出現峰值，可以用控制泵口處的閥門的方法來克服。

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