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油擴散噴射真空泵的特點及應用

發布時間:2017年05月23日 09:44   閱讀:14960   返回   來源:澤德
  油擴散噴射泵又稱油增壓泵,其工作壓力范圍為10~10-2Pa。這個壓力范圍正好是高真空油擴散泵和油封式機械泵抽氣能力下降的中間地帶,油封式機械泵的抽速隨壓力降低而明顯地減小,在10-1 Pa時實際抽速幾乎為零;而大多數油擴散泵在此壓力范圍內抽速也很小。在1~10-1 Pa工作壓力范圍內,油增壓泵恰好具有較大的抽速。因此,油增壓泵除用做主泵外,常用到大型油擴散泵的出口處,來增加其出口壓力,使前級機械泵能有效地工作,故稱其為油增壓泵。
  油增壓泵與油擴散泵相比,相同口徑的泵,其加熱功率高2~5倍,抽氣量高4~20倍,泵的功能不同,泵油性能不同,但其抽氣機理基本相同。
  油增壓泵廣泛用于真空熔煉設備。真空熱處理設備、真空干燥、浸漬和蒸餾等設備。
 

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