真空泵的類型和性能參數(shù)

　　真空泵大致有機械真空泵、蒸氣流泵、吸氣劑泵、離子泵以及低溫泵五種類型：

　　(1)機械真空泵。它是利用機械運動(轉(zhuǎn)動或滑動)的方法獲得真空的，其抽氣過程是基于工作室的容積周期性變化，故也稱為容積泵。有往復(fù)式機械真空泵、油封機械真空泵和羅茨真空泵。

　　(2)蒸氣流泵。它是利用高速蒸氣流來獲得真空的，它的抽氣過程是基于高速定向運動的蒸氣流與被抽氣體分子進行能量交換而達到抽除氣體的目的。

　　(3)吸氣劑泵。它是利用化學反應(yīng)的方法獲得真空的，其抽氣過程是基于吸氣金屬或合金(吸氣劑)與某些氣體的化學反應(yīng)。有鈦升華泵、鋯鋁吸氣泵。

　　(4)離子泵。它是依靠氣體分子電離和化學吸附的方法來獲得真空的。有升華離子泵、靜電離子泵、濺射離子泵等。抽氣過程是利用高速電子使氣體分子電離，再借助電場力的作用，使離子達到活性表面、吸氣金屬表面或沉積有吸氣金屬膜的泵壁表面，達到排除氣體的目的。

　　(5)低溫泵。它是利用低溫冷凝和吸附的方法獲得真空的，抽氣過程基于深冷多孔性表面對氣體的冷凝與吸附。有低溫吸附泵、氦閉循環(huán)制冷機低溫泵等。

　　以上機械真空泵、蒸氣流泵兩類屬于“有油”類真空泵。它們是把被抽容器的氣體直接抽出泵外。吸氣劑泵、離子泵、低溫泵類屬“無油”類真空泵，它們是把被抽氣體暫時或永久地保存于    通常用以下參數(shù)來表征真空泵的工作特性：

　　(1)極限壓強。在沒有氣體漏人泵內(nèi)時，經(jīng)過相當長時間的抽氣后，泵的人口處所能達到的穩(wěn)定的最低壓強。

　　(2)抽氣速率。在某一壓強下，單位時間內(nèi)流過泵進氣口截面的氣體體積。

　　(3)最大入口壓強。泵在開始工作前，被抽容器中所具有的壓強。

　　(4)最大反壓強。在不破壞真空泵的正常工作時，泵出口處所能承受的最大壓強。

　　(5)真空產(chǎn)生率。單位時間內(nèi)泵自容器中所排除的氣體質(zhì)量。

　　(6)壓縮比。真空泵的出口壓強與它的人口壓強的比值。

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