吸附泵的工作原理及特性
發布時間：2016年08月26日 09:05 閱讀：6571
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澤德
吸附泵能夠將真空室的氣壓從大氣壓抽到中真空范圍內，其工作原理是氣體在分子篩表面的物理吸收，經常使用的材料是沸石(一種堿性鋁硅酸鹽)。
孔隙的表面積大約為每克103m2。沸石13X的孔隙直徑接近水蒸汽、油蒸汽和大氣體分子的大小。因此，大分子容易被吸附，而氫、氦和氖等小氣體分子不容易被吸附。
氣體的吸收與壓強和溫度有關。注意，氮吸收量與氖或氦吸收量之間的差別至少達4個數量級。
實際上，氫氣和氦氣通常存在于從微波管中排出的氣體中。這是因為在釬焊過程中使用氫氣作保護氣氛，以及在惰性氣體保護焊中常使用包含氦氣的惰性氣體。由于通常存在氫氣和氦氣，所以在使用吸附泵時要謹慎。因為泵經常在黏性流范圍內工作，氫氣和氦氣容易被沸石隨氣體抽出。當抽氣過程發生十分快時，氫氣和氦氣能被帶入吸附泵中，然后，在氫氣和氦氣擴散回被抽容器前，可以關閉閥門。
將吸附泵浸入液氮中可使它獲得較大的抽氣能力。為了使沸石在抽氣后恢復活性，可將吸附泵加熱到室溫。氣體從沸石中釋放出來，通過排氣口從泵中排出。如果大量的水蒸汽或其它可壓縮液體被吸附泵抽出，那么有必要將沸石在不低于200℃的溫度下烘烤幾個小時。
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