渦輪分子泵優點和缺點

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵更有優勢。所以在一般情況下，多選用渦輪分子泵。但是任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。接下來將詳細介紹渦輪分子泵優點和缺點。

渦輪分子泵優點

1、清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何 碳氫化合物。

2、使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣 壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。

3、氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。

4、適于超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空 一般可達到10-9——10-10Torr（即133.3——13.33nPa）之間。

5、高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1——10-3Torr（即13.33Pa——133.3mPa）之間運行。在這個壓力范圍內 ，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。

渦輪分子泵缺點

1、設備費用高

考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

2、對顆粒物或沉積物敏感

一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。

3、噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。

4、破碎問題

有些用戶由于害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或 軸承磨損而出現破碎的。

5、暴露大氣易引起事故

如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，應該發揮它的優點和盡量避免它的缺點。

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