擴散泵油返流的原因及解決辦法
發布時間：2016年02月24日 10:13 閱讀：9174
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澤德
油擴散泵工作時，不管使用什么樣的泵油，總有部分油蒸氣返流入高真空端、這不但影響泵的 極限壓力，還會對被抽容器造成污染。采用返油率評價泵的返流特性。返油率是指在泵人口處，單 位時間，單位面積上返回泵油的質量。不同泵油返油率不同，同一種泵油，油溫增高時返油率加大。泵的第一級噴嘴結構、尺寸、形狀對返油率也有影響。
擴散泵返流油蒸氣的來源主要有以下幾個方面：
a．凝結于頂噴嘴表面上的油膜的再蒸發。
b． 泵壁上凝結油膜的再蒸發和爬移。
c．噴嘴噴出的高速蒸氣射流碰到泵壁后的散射。
d．油蒸氣由噴 嘴噴出后，由于油蒸氣分子的熱運動、碰撞、反彈，包括泵油爆沸產生的飛濺和壓力起伏引起的油 分子直接向高真空側返流。
在頂噴嘴上加一個優選形狀的擋油帽，可使返油率大大降低。這種擋油帽的擋油效果較好且對泵抽 速沒有太大的影響，所以在現代擴散泵的設計中經常采用這種結構。在頂噴嘴上方，緊貼泵壁加一 擋油環，經實驗得知，返油率最多可減少20％。
在對降低泵的返油率有更高要求時，可以在抽氣系統上采用各種結構的冷阱和障板。另外，調 好泵的最佳加熱功率值的方法亦可使返油率減小。在泵加熱開始和終止時，返油率將出現峰值，可 以用控制泵口處的閥門的方法來克服。
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