羅茨真空泵是一種無泵內壓縮的旋轉變容式真空泵，利用兩個轉子在泵殼中旋轉而產生吸氣和排氣作用。普通羅茨真空泵不能直接把氣體排到大氣中，必須和前級真空泵串聯使用，在配用油封式旋轉機械泵作為前級泵的情況下，羅茨真空泵的極限真空可以小于1Pa。直排大氣羅茨泵可以直接排氣到大氣中，獨特的結構使此種泵的最大允許壓差可達88kPa，既可單獨使用，也可多臺串聯使用，還可與普通羅茨泵等其他種類的泵組合使用，提高真空機組的全程抽速。
羅茨泵的特點如下。
(1)轉子與泵體、側蓋之問有間隙，互不接觸，無須用潤滑油，因而泵腔內容易獲得無油真空。
(2)轉子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉速，從而能夠制造出結構緊湊的大抽速泵來。泵的運轉也比較平穩，振動小。
(3)在泵腔內不發生如油封式旋轉機械泵那樣的壓縮現象，因此不需要排氣閥，可以抽除可凝性蒸氣。
(4)啟動快，能在短時間內達到極限真空，功率小，運轉維護費用低。
(5)泵在很寬的壓力范圍內(1～1000Pa)有很大的抽速，能迅速抽除突然放出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵在此范圍時抽速都很小的缺點。因此最適合作增壓泵用。
羅茨真空泵前級泵的極限真空高低直接影響整套機組的極限真空，因此需要根據工作壓力來選擇前級泵。
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