爪形轉子干式機械真空泵介紹

爪形轉子干式機械真空泵(又簡稱爪式泵)在泵殼內具有兩個共軛嚙合的爪形轉子。與羅茨真空泵類似，轉子由一對同步高精度齒輪來帶動旋轉并固定相位。轉子型線由六段擺線和圓弧組成，轉子之間及轉子與泵殼之間并不接觸，留有微小的間隙。氣體的進氣口和排氣口均設在泵殼的端面上，分別由兩個轉子端面周期性的定時開閉，具有閥的調節作用。爪形轉子干式機械真空泵的整機型式分為立式和臥式兩種。臥式結構以英國愛德華公司開發的一級羅茨轉子加上三級爪形轉子的DP80型機械真空泵為代表。羅茨轉子為高真空吸氣級，爪形轉子為壓縮排氣級，這樣安排可以在低入口壓力下得到大抽氣速率。其極限壓力可達1Pa以下。

這種結構的泵特點是整機重心低，各級轉子與隔板之間的間隙易于調整。為了在低壓下獲得較大抽速，泵的羅茨吸氣級要做得比爪形排氣級大50%。為了避免泵在粗抽期間產生組間“過壓”，在羅茨及中間爪型級之間設有較大的傳輸空間作為壓力緩沖空間。另外還可以安裝級間過壓安全閥以保證工作可靠。為了有助于抽除水蒸汽，在泵的排氣級設置了氣鎮閥。泵的傳動型式與羅茨真空泵相同。

通過以上分析可知，爪形轉子干式機械真空泵同時具有羅茨真空泵和旋片真空泵的優點。

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